제품명

적    용

특    성

건     욕

공정조건

D/F 현상액

DE 150K

Na₂CO₃ 현상액

•뛰어난 해상도 달성

• side wall 품질이 우수함.

•현상 장비가 깨끗이 유지 됨.

DE 150 : 10vt%

순수: To Balance

온도 : 28~31℃

시간: 45∼55 sec

D/F 현상액

Developer 250 K

고농도 K₂CO₃ 용액

•뛰어난 해상도 달성

• side wall 품질이 우수함.

•현상 장비가 깨끗이 유지 됨.

250 K: 1 V%

순수: To Balance

온도 : 28~31℃

시간 : 45∼60 sec